美歐雙方於「貿易與技術委員會會議」（TTC）後發布聯合聲明，其中提及持續展開研究PFAS 氟烷基化合物（Perfluoroalkyl Substance, PFAS）的替代品引發關注，台廠包含台積電（2330）、崇越（5434）、華立（3010）等近年接軌國際都已採取積極作為。
依據美歐雙方聯合聲明，雙方計畫繼續努力尋找晶片中PFAS使用替代品的研究合作機會。例如計畫探索利用人工智慧能力和數位孿生（Digital Twin）來加速發現合適材料來取代半導體製造中的PFAS。
TSIA先前指出，由於 PFAS 對環境的衝擊及其持久性，愈來愈多國家在思考相關立法。美國 SIA 在美國發起 PFAS Consortium，針對 PFAS 在半導體製程中的使用及其重要性、潛在的排放途徑、以及若限制 PFAS 使用可能造成的衝擊進行研究。
此外，美國 SIA 提出的 PFAS 自願協議草案，計劃開發計算 PFAS 使用和 排放的通用方法，承諾減少 PFAS 排放並分享有關 PFAS 減量的資訊。工作小組原則同意繼續討論該協議草案。 工作小組先前承諾在 2025 年消除微影中使用的 全氟辛酸（Perfluorooctanoic Acid, PFOA）。所有協會均確認在 2023 年已不再使用。工作小組將在2024 年 5 月的聯合聲明中公佈這項成就，並由美國 SIA 草擬 WSC 致《斯德哥爾摩公約》信函， 宣布 WSC 已停止 PFOA 的使用。
回顧先前外電報導歐盟擬嚴管PFAS相關化學品，對於該議題，半導體級材料服務商華立、崇越已分別指出估計影響有限。崇越指出，PFAS對公司影響不大，另外已有開發替代PFAS的產品。
華立也說，華立銷售的化學品未含有此成份，若未來客戶也來關心此議題，就會逐一請供應商提供所有品項的成份表。
台積電先前也早在2018年對外宣布公司全面替代全氟辛酸相關物質，應對長鏈PFAS中的全氟辛酸（Perfluorooctanoic Acid, PFOA）積極推行PFOA相關物質替代計畫，順利於民國107年第二季完成所有替代化學品驗證，並計畫該年度年底前全面替代所有廠區的PFOA相關物質。當時台積電在ESG電子報也指出，目前世界各國包括台灣在內均已立法管制PFOS、PFOA及其相關物質，台積公司亦採取積極防範作為。
資料來源：經濟日報
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